氟聚合物作為半導體制造業可容納和運輸制造過程中使用的高純度化學品的材料，可實現半導體制造需要的*穩定性和純度，近幾年隨著半導體行業的極速擴張，氟聚合物制品在半導體行業的需求量也呈現井噴模式。
通常使用的兩種特殊類型氟聚合物：聚四氟乙烯（PTFE）和可溶性聚四氟乙烯（PFA）。
由于PFA的分子結構允許熔融加工，可通過注塑成型等傳統的單一工序工藝進行制造，使得PFA制品的表面粗糙度幾乎無法測量，且成品不需要進行任何后道加工，杜絕引入污染。因此PFA比PTFE更能為半導體工藝化學品提供安全保障，更適用于半導體行業。
      Savillex的PFA系列商品種類豐富，質量穩定可靠，被各半導體制造及其支撐業企業選用，應用于半導體制程的各個環節，是高品質的保障。

美國Savillex：開發優秀的氟聚合物產品——無論在哪個應用領域。

產品——Savillex DST系列酸純化器/亞沸蒸餾器            

型號——DST-1000 & DST-4000

特點——半導體硅片是半導體制造的核心材料，                            

它的生產加工涉及精密拋光、研磨、蝕刻、清洗等工序，
這個過程中需要用到一些高純度化學品，比如氫氟酸（HF）、氯化氫（HCI）等強酸，使用Savillex的DST酸純化器進行酸提純是一種極其簡單和經濟的制備高純度酸的方法。使用DST-1000對微量金屬(1ppb)級原酸進行提純可以在12小時內制備約500ml高純HNO3、HCL或HF，而容量更高的半自動化DST-4000可以在同一時間內制備出約2倍的量。在短短幾個月基至幾周內即可收回購置成本。購買市售高純(10ppt)酸不僅價格昂貴，而且一旦開始使用，反復打開的過程中極易造成污染。因此使用DST系列酸化器自制高純酸在得到質量更可靠的高純酸的同時，還能為企業節約大量成本。

應用——VPD直連試劑瓶，各類高純化學試劑長期儲存
產品——Savillex 150 Purillex系列PFA高純試劑瓶/儲液瓶
規格——50ml、100ml、250ml、500ml、1000ml、2000ml
特點——Savillex 150 Purillex PFA高純試劑瓶由拉伸吹塑工藝制造，極低的微量金屬背景，表面無任何毛刺，無死
角，易于傾倒，最后一滴試劑都不浪費；完整的2.5轉螺紋及防滴漏瓶唇設計使其無需內蓋即能確保長期密封完整性，可長期儲存各類高純試劑。除50ml規格的為33mm直徑螺紋蓋，100-2000ml均為GL45標準螺紋口，可與VPD直連，可與各類分液器連用。每個試劑瓶出廠配備一個標準的GL45螺紋蓋，通過選配不同的轉換蓋即可將試劑瓶集成在不同管路中。
                                           

應用——VPD-ICP-MS，ICP-QMS樣品引入，半導體制程各類化學品、半成品（如：三氯硅烷、磷酸、高純硅樣品、*、硝酸、鹽酸、硫酸、太陽能級硅塊、高硅基質樣品等）及硅片雜質檢測

產品——PFA霧化器，PFA霧室，PFA惰性套件，PFA自動進樣器小瓶
適用品牌——Agilent、ESI、CETEC、PE、Nu……
特點——Savillex PFA 自吸式霧化器采用*的兩件式設計，高靈敏度，可反吹設計有效防止堵塞，延長使用壽命。PFA C-Flow同心霧化器流量從35ul/min至700ul/min，可用于半導體使用的任何惰性套件，不僅與Savillex的PFA霧室聯合，還可與其它品牌的石英霧室聯用。流量為50ul/min的Savillex PFA霧化器尤其適用于高硅基質樣品（如VPD-ICP-MS應用）和磷酸。Savillex PFA系列進樣產品可與多個設備連用。尤其是Agilent PFA霧化器及惰性套件的替代。Savillex PFA自動進樣器小瓶從200ul至30ml，PE、Varian、I-AS、CETAC、ESI多品牌多型號自動進樣器用PFA小瓶，均有不同型號可替代。Savillex PFA系列進樣系統是用戶性價比方面的planA。

                             

應用——超高純氣液化流體輸送，耐腐蝕管路集成
產品——PFA閥門，PFA接頭，PFA三通，PFA&FEP直管&軟管，PFA洗氣瓶（撞擊濾塵器），PFA濾器，PTFE濾膜，PFA螺母螺帽
特點——耐腐蝕，各種流體均適用，適用于半導體生產各環節生產工序的管路集成。材質高純、品類繁多，尺寸規格符合國際標準，適用范圍廣。PFA濾器結構簡單，操作便捷，集成在輸送管路中，可進一步凈化各類高腐蝕性氣液化流體，并可在線更換濾膜，極大提高生產效率。

                                         

應用——泛半導體制造業各工序均可使用
產品——實驗室PFA常用工具：Savillex PFA洗瓶，PFA微柱/層析柱，PFA燒杯，PFA夾子，PFA滴瓶，PFA大盆，PFA清洗罐，PFA密封罐，PFA注射器
特點——應用廣泛，材質高純、設計精良、耐腐蝕，提高半導體制造各個工序檢測質量